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공동활용장비

HOME산학협력 정보검색공동활용장비

관련문의 : 산학협력단 산학연구행정팀, 전화 : 053-810-1436, 1437

공동활용장비 등록
세정기 - 보유기관 대경태양전지지역혁신센터
- 관리번호
- 장비명 (한글) 세정기
- 장비명 (영문) Wet station
- 모델명 CSWS-6
사진 크게 보기 - 제조사 씨엔에스 엔지니어링
- 분야 1 세정장비 - 분야 2
- 기술분야 - 활용분야 기판 세정
- 용도 박도체 박막 제조용 기판의 세정 및 식각부산물의 세정을 위해 유기용제 및 산염기 용액을 공급/배출함
- 방법 기판의 세정을 위해 SC1 세정을 실시
각각의 BATH에서 세정
- 장비사양 Glass & Wafer : 100*100 5매, Max.6" Size 대응
Cassette : 전용 Cassette
Clean Class : Class 1000
Equipment Material : Frame - SUS 304
Main Body - Ivory PVC Plate
Tower Lamp : 3Color (Red : Alarm, Green : Stand-By, Yellow : Processing)
Chemical Supply & Drain : Supply -Manual 공급(작업자공급) > Bath,
Drain - Bottle Drain(중력)
Process Bath
SC-1(RCA) Bath : Material - PVDF 10t (Dip-type)
Bath Cover - P.P Plate (탈부착식)
Heating - Quartz 3Kw (Bath 내부 설치, 60℃±5℃)
Chmical - NH4OH, H2O2 (작업자 직접 공급방식)
DIW Supply - 중앙공급 (Level Sensor 에 의한 자동 Stop)

Quick Dump Rinse Bath : Material - 투명 PVC 10t (Over Flow Type)
Process - QDR Cycle (Shower, Bubble, Q-Drain, Supply)
Heating - R.T

Others : Work Table - Sink 대 & DIW Supply
DIW & N2 Gun - 각각 1Set 구성
Work-Lamp - 20W 2개 (작업 공간 활성화)
Bottle Cart - 20L Bottle 용 3개(이동성 및 교체 용이한 구조)
Leak Sensor - Point Type 2개

System Contol : PLC Controller & Touch Panel
- 담당자 신재원 - 전화번호 053-802-6796
- 이메일 jwshin@yu.ac.kr
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