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공동활용장비

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관련문의 : 산학협력단 산학연구행정팀, 전화 : 053-810-1436, 1437

공동활용장비 등록
반사방지막 형성공 공정시스템 - 보유기관 대경태양전지지역혁신센터
- 관리번호 74765600000
- 장비명 (한글) 반사방지막 형성공 공정시스템
- 장비명 (영문) PECVD
- 모델명 IC-1100
사진 크게 보기 - 제조사 인포비온
- 분야 1 박막형성장비 - 분야 2
- 기술분야 - 활용분야 CIGS 태양전지 제작
- 용도 셀 쪽으로 들어오는 태양빛의 반사를 방지하고 효율을 향상하기 위한 증착 장비
- 방법 CIGS 박막태양전지의 n-type TCO 박막인 ZnO 박막을 형성
- 장비사양 System 구성 : Process Chamber, Load-Lock Chamber
Gas Operation : Gas - N2, H2, B2H6
Source - DEZn, H2O
Substrate Size : 100mm 100mm
Substrate Heater : Max. 500℃(±5%)
System Contol : PLC Program with PC
Additional System : Gas Cabinet, Scrubber
- 담당자 신재원 - 전화번호 052-802-6796
- 이메일 jwshin@yu.ac.kr
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