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공동활용장비

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관련문의 : 산학협력단 산학연구행정팀, 전화 : 053-810-1436, 1437

공동활용장비 등록
분자선 에피탁시 시스템 - 보유기관 대경태양전지지역혁신센터
- 관리번호
- 장비명 (한글) 분자선 에피탁시 시스템
- 장비명 (영문) Molecular Beam Epitaxy System
- 모델명 CES-5006
사진 크게 보기 - 제조사 SNTEK
- 분야 1 박막형성장비 - 분야 2
- 기술분야 - 활용분야 CIGS 박막태양전지 제조
- 용도 화합물 박막 태양전지 제조용 공정장비
- 방법 Glass나 SUS 기판 등을 이용하여 CIGS 박막을 증착한다.
- 장비사양 System 구성 : Process Chamber, Load-Lock Chamber
Effusion Cell : 20cc, 4set (Cu, In, Ga, NaF)
125cc, 1set (Se)
Substrate 사이즈 : 100mm 100mm
Substrate Heater : Max. 700℃
Thickness Uniformity : ≤±5%@2
DC Power Supply : 45V, 25A, 5 sets
- 담당자 신재원 - 전화번호 053-802-6796
- 이메일 jwshin@yu.ac.kr
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