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공동활용장비

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관련문의 : 산학협력단 산학연구행정팀, 전화 : 053-810-1436, 1437

공동활용장비 등록
박막태양전지 흡수층 제조용 스퍼터링 시스템 - 보유기관 대경태양전지지역혁신센터
- 관리번호 74573000000
- 장비명 (한글) 박막태양전지 흡수층 제조용 스퍼터링 시스템
- 장비명 (영문) Magnetron sputtering system
- 모델명 SiLLA-Hr-Co 4
사진 크게 보기 - 제조사 유시스텍
- 분야 1 박막증착장비 - 분야 2
- 기술분야 - 활용분야 박막증착
- 용도 4개의 스퍼터 건을 이용하여 동시에 여러물질을 증착시키는 장비이다.
- 방법 박막태양전지의 제조에서 흡수층을 스퍼터링 시스템을 이용하여 증착시키는 장비이며
4개의 스퍼터건을 이용하여 동시에 여러개의 소재를 증착시킬 수 있어 연구개발에 이용된다.
- 장비사양 Film thickness uniformity : ≤ ±5% on OD 100x100mm substrate
Film composition uniformity : ≤ ±5%
Film resistivity : ≤ ohm cm
Rotation speed : 5~30 RPM
DC power supply : 1kW - 3set(Noise Filter)
Heating Temperature : Max. 700℃ ± 1%
Sample Size : 100mm X 100mm
Vacuum : 5x10-7Torr
RF Power Supply : 300W - 1set, 600W - 1set, (13.56 MHz)
Sputtering source : 4 sputter Gun
- 담당자 신재원 - 전화번호 053-802-6796
- 이메일 jwshin@yu.ac.kr
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