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공동활용장비

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관련문의 : 산학협력단 산학연구행정팀, 전화 : 053-810-1436, 1437

공동활용장비 등록
플라즈마 클리너 - 보유기관 LED-IT융합산업화연구센터
- 관리번호 747393-000-00
- 장비명 (한글) 플라즈마 클리너
- 장비명 (영문) Plasma Cleaner
- 모델명 PCS-ST01
사진 크게 보기 - 제조사 지니아텍
- 분야 1 반도체장비 - 분야 2
- 기술분야 - 활용분야
- 용도 PKG공정
- 방법
- 장비사양 1. General Specification
- Si 오염 제거 가능 할 것
- 플라즈마클리닝 결과 샘플 간 유의차 없을 것
- Main control 제어 : PLC
- 알람 및 Stop 기능 : Pump 과부하시 알람, 비상 Stop기능, 기타 System 이상 시 Alarm&Display
- Auto vent valve : N2 vent valve
2. Power Source
- RF power frequency : 13.56MHz
- RF power : 600W
- RF input power : 단상 220V
- Power matching : Auto/Manual
- Power안정화 : 정전압/정전류 제어
- 보호기능 : 과전류, 과부하시 자동으로 전류차단
3. Gas Mixing&Supply
- 사용 Gas : Argon(Ar)
- MFC : 0~500sccm(Ar)
4. Vacuum Chamber
- 내부 size : 580mm(W) X 580mm(D) X 500mm(H) 이상
- Door : Auto open&close
- Auto vent by compressed air
- View port : 1ea
- Chamber소재 : Stainless steel
- Noise 차폐용 shield 처리
- 냉각방식 : Air cooling
5. Vacuum Control System
- Pump : Rotary pump (필요 시 Booster pump추가)
- Vacuum sensor : Convectron gauge 1set
- Oil back-stream 보호장치
- Vacuum gauge range : 760~1X10-3Torr
- Base Vacuum : 10-1Torr
- 담당자 박찬규 - 전화번호 053-810-4327
- 이메일 smilepcg@liftrc.re.kr
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